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电子电路装置的制造及其应用技术
一种体声波谐振器、制备方法以及滤波器、制备方法
本发明公开了一种体声波谐振器、制备方法以及滤波器、制备方法。该体声波谐振器的制备方法包括:提供衬底,其中,衬底的表面或者内部设置有声反射结构;在衬底之上依次形成下电极、压电层和上电极;在上电极背离压电层的表面形成掩膜层,其中,掩膜层设置有框...
一种体声波谐振器及其制备方法
本发明公开了一种体声波谐振器及其制备方法。其中,该体声波谐振器包括:衬底、换能器堆叠结构和叉指电容;换能器堆叠结构包括依次设置在衬底一侧的底电极层、压电层和顶电极层;工作区域为沿体声波谐振器的厚度方向,底电极层、压电层和第一分部的交叠区域;...
一种体声波滤波器、通信器件及体声波滤波器的制备方法
本发明提供了一种体声波滤波器、通信器件及体声波滤波器的制备方法。该体声波滤波器包括:第一衬底;位于第一衬底的沿竖直方向设置的至少两个体声波谐振器,体声波谐振器包括底电极、压电层和顶电极的叠层结构;沿竖直方向相邻设置的体声波谐振器包括第一体声...
一种内置电感声表面波滤波器
实用新型公开了一种内置电感声表面波滤波器,属于声表面波滤波器技术领域,包括压电基板,其特征在于:耦合谐振滤波器的一端与信号输入端子连接,另一端与第三声表面波谐振器的一端连接,第三声表面波谐振器的另一端与信号输出端子连接,信号输入端子和耦合谐...
一种体声波谐振器及其制备方法、滤波器
本申请公开一种体声波谐振器及其制备方法、滤波器,涉及谐振器技术领域,该体声波谐振器包括衬底以及依次设置于所述衬底上的下电极、压电层和上电极,所述衬底上设置有凹槽,所述下电极、所述压电层和所述上电极在层叠方向上的交叠区域作为谐振区域,在所述压...
薄膜体声波谐振器及其制备方法、滤波器
本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制备方法、滤波器,其中,薄膜体声波谐振器,包括:衬底;衬底的顶部设置有空腔;位于衬底的顶部的堆叠结构;堆叠结构包括温度补偿层和空气反射结构;空气反射结构位于温度补偿层背离衬底的一侧;温度补偿层设有第一声反...
体声波器件制备方法和体声波器件
本公开提供了一种体声波器件制备方法和体声波器件,可以应用于半导体技术领域。该方法包括:在硅基衬底上形成体声波滤波器;在体声波滤波器的表面及背面沉积形成保护层;基于体声波滤波器的表面包括的多个电极连接区域,在保护层上刻蚀形成多个通孔开口;以及...
声表面波滤波器及其制造方法
本发明提供了一种声表面波滤波器及其制造方法,形成覆盖叉指换能器及压电基材的牺牲层,牺牲层中形成有第一开口,第一开口贯穿牺牲层并围绕叉指换能器;在第一开口中填充阻挡结构;形成盖帽层,盖帽层覆盖牺牲层及阻挡结构,盖帽层中形成有第二开口,第二开口...
体声波器件制备方法、装置和体声波器件
本公开提供了一种体声波器件制备方法、装置和体声波器件,可以应用于半导体技术领域。该方法包括:在硅基衬底上形成体声波滤波器,其中,体声波滤波器的表面包括多个电极连接区域;在多个电极连接区域各自形成凸点结构;基于多个凸点结构,将体声波滤波器封装...
一种基于电场、磁场驱动的导电流体运动的声波调制器件、方法及应用
本发明公开了一种基于电场、磁场驱动的导电流体运动声波调制器件、方法及应用,涉及声波控制技术领域。该器件包括导电流体驱动部分,用于驱动导电流体;磁场生成装置,用于生成所需的磁场;直流电压源,用于提供需要的电压场;声学流动腔体,为导电流体提供运...
提高谐振特性的SAW谐振器用压电体基板的制造方法及通过该方法制造的SAW谐振器用压电体基板
提供一种提高谐振特性的SAW谐振器用压电体基板的制造方法及通过该方法制造的SAW谐振器用压电体基板。SAW谐振器用压电体基板的制造方法作为一种SAW谐振器用压电体基板的制造方法,其包括如下几个步骤:准备叠层基板;以及通过对叠层基板进行热处理...
一种紧凑型硅基EMI滤波器及其制造方法
本发明提供了一种紧凑型硅基EMI滤波器及其制造方法,包括第一低阻多晶硅层内还设有高阻多晶硅层,第一介质层、第二介质层、第一低阻多晶硅层和高阻多晶硅层能够组成C‑R‑C滤波电路,半导体硅衬底上表面设有与I/O端口一相连的第一金属导电层、与I/...
一种小型化声表面波滤波器
本发明属于滤波器技术领域,具体涉及一种小型化声表面波滤波器;该滤波器包括:相互连接的信号输入端、信号输出端和谐振器;谐振器包括一个叉指换能器区域和两个短路反射栅区域;叉指换能器区域位于两个短路反射栅区域之间;三个区域均由输入汇流条、输出汇流...
一种三阶调谐低通滤波器
本发明涉及微波射频技术领域,尤其涉及一种三阶调谐低通滤波器。包括输入耦合电感L1、第一级间耦合电感L2、第二级间耦合电感L3、输出耦合电感L4、第一调谐电容C1、第二调谐电容C2和第三调谐电容C3,其中第一调谐电容C1、第二调谐电容C2和第...
一种用于测量集成电路逻辑单元延时的测试信号发生电路
本实用新型实施例涉及一种用于测量集成电路逻辑单元延时的测试信号发生电路,包括:第一环形振荡器和第一分频器;第一环形振荡器包括2M个级联的逻辑单元和一个反向单元;2M个级联的逻辑单元中最后一级逻辑单元的输出端连接反向单元的第一输入端,反向单元...
一种温控衰减器及温控衰减射频开关
本发明提供一种温控衰减器及温控衰减射频开关,温控衰减器包括:温控偏置电流电路,根据外部温度变化产生具有不同温度系数的偏置电流;偏置电压电路,根据所述偏置电流产生栅极电压;衰减器,所述衰减器包括MOS管,所述MOS管根据所述栅极电压调节衰减量...
一种基于多通道滤波的射频源模块
本实用新型提供了一种基于多通道滤波的射频源模块,所述射频源模块中包括锁相环模块、倍频滤波放大模块、分频滤波放大模块,通过锁相环模块分别对倍频滤波放大模块和分频滤波放大模块提供射频信号,并且,在倍频滤波放大模块和分频滤波放大模块中,针对每个频...
一种多相位时钟电路和多相位时钟信号产生方法
本公开提供了一种多相位时钟电路和多相位时钟信号产生方法,应用于集成电路技术领域,其中多相位时钟电路包括:注入开关控制模块被配置为获取表征频率注入比例的注入模式控制信号;注入开关选择模块被配置为根据注入模式控制信号确定四相注入时钟信号的注入相...
一种高压气体开关触发电路
本发明提供了一种高压气体开关触发电路,包括电源模块、输入隔离模块、充电储能模块、放电触发模块、第一电容C1和隔离变压器T1,电源模块与充电储能模块连接,充电储能模块与第一电容C1连接,第一电容C1与隔离变压器T1的初级绕组的起始端连接,隔离...
一种缩短稳定时间的生物滤波器电路
本发明公开了一种缩短稳定时间的生物滤波器电路,属于信号滤波电路领域。本发明提供的生物滤波器电路由检测电路、延时电路、选择电路和模拟滤波器组成。该电路在模拟滤波器中设置了可切换工作但截止频率不同的两个滤波器,通过检测电路、延时电路、选择电路的...
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