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摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
正型抗蚀剂材料及图案形成方法
本发明涉及正型抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题是提供具有优于已知的正型抗蚀剂材料的感度及分辨率,边缘粗糙度、尺寸变异小,曝光后的图案形状良好的正型抗蚀剂材料及图案形成方法。该课题的解决手段为一种正型抗蚀剂材料,含有:基础聚合物,含有具...
处理盒的导电件、处理盒的存储单元、处理盒、处理盒组及图像形成装置
本申请提供一种处理盒的导电件、处理盒的存储单元、处理盒、处理盒组及图像形成装置,导电件包括第一电连接部、第二电连接部、第三电连接部和第四电连接部,第四电连接部分别电连接于第一电连接部、第二电连接部和第三电连接部;第一电连接部用于接收电,第三...
一种显影盒
本实用新型公开一种显影盒,其与鼓组件共同可拆卸地安装至图像形成装置内,显影盒包括储存显影剂的盒体,显影辊设于盒体上,驱动部设于盒体一端,迫推部使得显影辊与感光鼓贴合,识别组件用于存储显影盒的信息,识别组件包括存储介质和电接触面,将显影盒的信...
密合膜形成材料、使用其的密合膜的形成方法、及使用了密合膜形成材料的图案形成方法
本发明涉及密合膜形成材料、使用其的密合膜的形成方法、及使用了密合膜形成材料的图案形成方法。本发明的问题为提供一种在利用半导体装置制造步骤中的多层抗蚀剂法所为的微细图案化制程中,供予具有和抗蚀剂上层膜的高密合性,且具有抑制微细图案崩塌的效果同...
穿墙式边缘曝光单元和涂胶显影设备
本发明提供穿墙式边缘曝光单元和涂胶显影设备,该穿墙式边缘曝光单元应用于涂胶显影设备,包括:传送手指、伸缩臂、升降组件、多轴联动平台、边缘曝光组件和主控系统;所述传送手指用于装载晶圆,所述伸缩臂用于驱动装载晶圆的传送手指向所述升降组件运动;所...
抗蚀剂材料及图案形成方法
本发明涉及抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题是提供无论正型或负型皆为高感度,且LWR、CDU经改善的抗蚀剂材料及使用其的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂材料,含有:经碘化的苯酚化合物的锍盐。
抗蚀剂组成物及图案形成方法
本发明涉及抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题为提供在以KrF准分子激光、电子束、极紫外线等高能射线作为光源的光学光刻中,展现特别良好的掩膜尺寸依存性(掩膜误差系数:MEF)、尺寸均匀性(CDU)的抗蚀剂组成物以及提供使用该抗蚀剂组成物...
无溶剂硬化性组成物、硬化层及彩色滤光片
提供一种无溶剂的硬化性组成物、一种使用其生产的硬化层及一种彩色滤光片,所述组成物包含:用由化学式1表示的化合物进行表面改质的量子点;及在末端处具有碳‑碳双键的可聚合单体。本发明可降低由无溶剂的硬化性组成物形成的硬化层的发射波长、达成高颜色再...
调焦调平装置、光刻机系统及离焦量的测量方法
本发明提供一种调焦调平装置、光刻机系统以及离焦量的测量方法,其中,所述光照单元提供的检测光斑经所述投影单元投影至一待测面上,并经待测面反射形成反射光斑并投射至所述探测单元。所述探测狭缝包括透光区和反射区。反射光斑经透光区形成第一光斑,所述第...
光学临近修正、光掩模版制作及图形化方法
一种光学临近修正、光掩模版制作及图形化方法,其中光学临近修正方法包括:提供目标图形;增大目标图形的边长,形成初始图形;对初始图形进行修正,获得对应的第一修正图形;形成辅助图形,辅助图形包围第一修正图形;将第一修正图形和辅助图形进行差异因子比...
光学单元
本发明能够使光学单元小型化。光学单元(1)具备固定体(10)和可动体(20),固定体(10)具有:壳体部(14),其以从光轴方向观察包围可动体的至少一部分的配置设置;以及框体部(11),其收纳壳体部(14),壳体部(14)具有金属制的金属壳...
光学元件驱动机构
一种光学元件驱动机构,包括一第一活动部、一固定部以及一驱动组件。活动部用以连接一第一光学元件。第一活动部可相对固定部运动。驱动组件用以驱动第一活动部运动。
一种可调后焦的单焦镜头实拍治具
本实用新型公开了一种可调后焦的单焦镜头实拍治具。其中,包括:滑台模组和sensor模组,所述滑台模组包括底座和可前后移动设置于底座的滑块,所述滑块的上端固设有用于固定单焦镜头的固定座;还包括安装座和固定框,所述安装座设有通孔,且通孔小于单焦...
基片处理系统、基片处理装置和可视化方法
本发明提供能够容易地使基片处理装置内的流体的流动的分布可视化的系统。基片处理系统(1)包括:基片处理装置(50),其具有收纳基片(W)的收纳空间(A1);朝向收纳空间(A1)的摄像机(81);图案(82),其被设置成在摄像机(81)的视野内...
投影屏幕
本申请实施例公开了一种投影屏幕,属于投影技术领域。该投影屏幕包括:第一框架、第二框架、铰链机构、限位件、柔性幕布和拉紧机构;第一框架和第二框架通过铰链机构可旋转连接;限位件用于将第一框架和第二框架限位在共面位置,以形成矩形框架;柔性幕布贴合...
具有碰撞测试功能的浸没光刻装置及碰撞测试方法
本发明提供了一种具有碰撞测试功能的浸没光刻装置及碰撞测试方法,所述具有碰撞测试功能的浸没光刻装置包括:浸没单元;测试单元,包括测试件、测试线路和电气测试仪,所述电气测试仪通过所述测试线路分别与所述浸没单元和所述测试件电连接,所述电气测试仪用...
一种光纤光栅三维矢量加速度传感器
本申请公开了一种光纤光栅三维矢量加速度传感器,通过一体式的芯体结构,采用一个惯性质量块,相比于其他多惯性质量块的三维传感器,一个惯性质量块可以避免多质量块质心不一致的问题,使得对三维信号的采集更加准确。而且三个方向谐振频率和灵敏度大致一样,...
一种光刻机硅片台移动机构
本发明公开了一种光刻机硅片台移动机构,涉及硅片加工技术领域,包括可沿着矩形路径往复移动的两组硅片载台,每组均由两个横向分布的硅片载台构成,四块硅片载台呈田字形排布,初始状态下,四块硅片载台中位于右上角的硅片载台正对于光刻机的加工工位。还包括...
对准装置、光刻机及对准方法
本发明提供一种对准装置、光刻机以及对准方法。其中,第一镜组将光照分为第一光束和第二光束,第二镜组将第二光束转为第三光束。第一光束和第三光束经光栅标记发生衍射并产生衍射光。第一光束的衍射光经第二镜组和第一镜组后进入探测单元,第三光束的衍射光经...
用发力器发出的作用力驱动运行的发动机
本发明公开了一种用发力器发出的作用力驱动运行的发动机,属于发动机技术领域。它由一个能够对发动机能量输入端发出作用力的发力器和一个同步反向旋转的齿轮机构组成。技术要点:①利用发力器发出的作用力驱动内齿圈转动,内齿圈在传动行星轮旋转中形成行星架...
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