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微观装置的制造及其处理技术
  • MEMS器件封装方法
    MEMS器件封装方法_五邑大学_202411944099.0
    本申请提供了MEMS器件封装方法；通过制作玻璃封盖晶圆、键合环晶圆和临时载板；键合玻璃封盖晶圆和键合环晶圆形成盖帽晶圆；键合盖帽晶圆和临时载板形成临时盖帽晶圆；沿着第二切片槽对玻璃封盖晶圆和键合环晶圆切片；在键合环晶圆表面制作金属中间层；通...
    2025-04-12
  • 一种MEMS压电器件及其制备方法
    一种MEMS压电器件及其制备方法_成都纤声科技有限公司_202411890405.7
    本申请提供一种MEMS压电器件及其制备方法，涉及半导体技术领域，包括：在衬底上至少依次层叠基底层、压电层和表面层；刻蚀所述表面层使所述压电层暴露，至少在所述压电层的敏感区域保留所述表面层。通过在压电层表面的敏感区域保留表面层，以对敏感区域压...
    2025-04-12
  • 一种多层硅电互联结构及制备方法
    一种多层硅电互联结构及制备方法_安徽华鑫微纳集成电路有限公司_202411864896.8
    本发明公开了一种多层硅电互联结构及制备方法，该结构包括从上到下依次设置的顶部硅布线层、绝缘层、底部硅布线层，所述底部硅布线层上有底部硅布线结构，所述顶部硅布线层上有顶部硅布线结构，所述顶部硅布线层上开有顶部深孔，所述顶部深孔贯穿所述绝缘层，...
    2025-04-12
  • 半导体结构及其形成方法
    半导体结构及其形成方法_中芯集成电路(宁波)有限公司_202111672677.6
    本申请公开一种半导体结构及其形成方法，其中形成方法包括：提供基底，基底表面形成有导电区；在导电区上形成第一介质层，第一介质层至少暴露出导电区的部分表面；在第一介质层的表面形成第一导电层，且第一导电层保形覆盖所述第一介质层，还覆盖暴露的导电区...
    2025-04-12
  • 微机电系统器件的制造方法及微机电系统器件
    微机电系统器件的制造方法及微机电系统器件_北京北方华创微电子装备有限公司_202111250432.4
    本发明公开了一种微机电系统器件的制造方法及微机电系统器件，制造方法包括：在晶圆的正面上的非刻蚀区域形成图形化的金属氧化物掩膜层；对晶圆正面上的待刻蚀区域进行干法刻蚀，在晶圆的正面形成具有孔道结构的微机电系统器件；通过湿法刻蚀去除金属氧化物掩...
    2025-04-12
  • 一种像素级MEMS结构及使用方法
    一种像素级MEMS结构及使用方法_无锡彩鸿芯宇科技有限公司_202411932755.5
    本发明公开了一种像素级MEMS结构及使用方法，属于显示器技术领域。一种像素级MEMS结构，包括基板和光源，所述基板位于光源的下方；像素结构，像素结构位于光源的上方；所述像素结构包括：反射膜一，所述反射膜一位于光源的上方，所述反射膜一的上方设...
    2025-04-12
  • 一种嵌入式六轴惯性感测系统级封装结构及其装配方法
    一种嵌入式六轴惯性感测系统级封装结构及其装配方法_中国电子科技集团公司第四十三研究所_202411705836.1
    本发明涉及一种嵌入式六轴惯性感测系统级封装结构及其装配方法。该封装结构包括异形多腔体多层布线陶瓷块；异形多腔体多层布线陶瓷块，用于实现MEMS传感器单元和数据处理电路的集成安装。异形多腔体多层布线陶瓷块包括陶瓷块；陶瓷块上嵌入安装有多个ME...
    2025-04-12
  • 一种空腔内壁布满热氧化层的Cavity-SOI制备方法
    一种空腔内壁布满热氧化层的Cavity-SOI制备方法_安徽华鑫微纳集成电路有限公司_202411822816.2
    本发明公开了一种空腔内壁布满热氧化层的Cavity‑SOI制备方法，本发明涉及Cavity‑SOI制作技术领域，方法包括获取空腔晶圆，对空腔晶圆进行一次热氧化工艺，形成一次热氧化层，采用湿法工艺刻蚀去除一次热氧化层，对空腔晶圆进行二次热氧化...
    2025-04-12
  • 一种智能型保鲜盒及其制造方法
    一种智能型保鲜盒及其制造方法_安徽丰逸智能家居有限公司_202510293592.9
    本发明涉及保鲜盒技术领域，具体公开了一种智能型保鲜盒，包括保温外盒，所述保温外盒的内部设置有储物内盒，所述储物内盒的底部设置有保鲜部件，所述保鲜部件包括集液斗，所述集液斗的内底面固定连接有储冰框，所述储冰框内填充有冰块，所述储物内盒的底部开...
    2025-04-12
  • 一种绞合线缠线设备及绞合线缠线工艺
    一种绞合线缠线设备及绞合线缠线工艺_深圳市博多电子有限公司_202510279299.7
    本申请涉及一种绞合线缠线设备及绞合线缠线工艺，涉及绞合线缠线的技术领域，其包括设备主体、控制面板、支撑块、限位机构、缠绕机构和移动机构。本申请具有快速缠绕绞合线，提高缠线效率的效果，通过设置于设备主体前左端的限位机构，可对待缠线物料进行定位...
    2025-04-12
  • 一种太赫兹波段高电容比的金属并联式RF MEMS开关
    一种太赫兹波段高电容比的金属并联式RF MEMS开关_北京邮电大学_202411653916.7
    本发明公开了一种太赫兹波段高电容比的金属并联式RF MEMS开关，属于射频前端器件领域。整体结构由支流端口金属块，直流偏置线，微带线匹配结构，金属梁MEMS开关，金属梁的金属电极，氮化硅绝缘层，硅基衬底，共面波导金属地和金属地组成。金属梁的...
    2025-04-12
  • 一种静电驱动MEMS微镜及制备方法
    一种静电驱动MEMS微镜及制备方法_上海蓝威微机电有限公司_202510109174.X
    本申请公开了一种静电驱动MEMS微镜及制备方法，该静电驱动MEMS微镜包括：上驱动硅片、微镜硅片和下驱动硅片；微镜硅片包括：转轴和转动镜体，转轴和转动镜体垂直于上驱动硅片和下驱动硅片；转轴贯穿转动镜体，且二者之间设有旋转空隙；上驱动硅片和下...
    2025-04-12
  • 一种内置隔断可调节保温保冷容器
    一种内置隔断可调节保温保冷容器_浙江安胜科技股份有限公司_202421472463.3
    本实用新型公开了一种内置隔断可调节保温保冷容器。本实用新型，包括保温保冷容器，所述保温保冷容器内部底端的中间位置设置有中心隔断，所述中心隔断的两端转动安装有活动隔断，所述中心隔断和活动隔断一端的顶部和底部均开设有滑槽，所述中心隔断和活动隔断...
    2025-04-12
  • 原料恒温储放装置
    原料恒温储放装置_俏福圣药业有限公司_202421513709.7
    本实用新型属于药物原料储存的技术领域，具体为原料恒温储放装置，所述的放置架设置在恒温箱内，所述的放置架由第一动力装置驱动；所述的放置架转动连接有原料架，所述的原料架由第二动力装置驱动；所述的原料架上开设有出料管道，所述的原料架滑动连接有与出...
    2025-04-12
  • 一种用于农产品存放的保鲜装置
    一种用于农产品存放的保鲜装置_上海金涞沅农产品科技有限公司_202421296794.6
    本实用新型公开了一种用于农产品存放的保鲜装置，属于农产品技术领域,包括有保鲜箱体和保鲜箱门，保鲜箱体的内部设置有隔板，保鲜箱体在靠近内壁和隔板一侧的位置上均对称设置有两个支撑杆，同侧的支撑杆之间设置有若干移动侧板，移动侧板在相面对的一侧中间...
    2025-04-12
  • 锁总成机构、车门以及车辆
    锁总成机构、车门以及车辆_比亚迪股份有限公司_202421355917.9
    本公开涉及一种锁总成机构、车门以及车辆，锁总成机构包括，锁座，用于沿预设方向运动以释放车门；锁定件，活动连接于锁座，锁定件具有解锁位置；以及第一驱动构件，包括分别能够带动位于解锁位置的锁定件运动的电驱动件和手动驱动件，且通过锁定件带动锁座运...
    2025-04-12
  • 一种高安全性的生态环境监测用样品存放装置
    一种高安全性的生态环境监测用样品存放装置_包头市生态环境局综合保障中心(包头市生态环境监控监测中心)_202421317353.X
    本实用新型公开了一种高安全性的生态环境监测用样品存放装置，涉及样本存放设备技术领域，包括支撑腿、调控底座、门把、密封门和限位栓，所述支撑腿上方设置有调控底座，所述调控底座上方设置有箱体，所述箱体右侧安装有密封门，且密封门左侧设置有门把，所述...
    2025-04-12
  • 一种用于阳极键合工艺的动态电压控制方法
    一种用于阳极键合工艺的动态电压控制方法_浙江芯动科技有限公司_202510280273.4
    本发明涉及MEMS制造的技术领域，它涉及一种用于阳极键合工艺的动态电压控制方法，将初始电压值设为固定电压值的50%‑70%，实时监测键合界面电阻值、界面温度场分布及局部应力变化；根据界面电阻下降速率与温度梯度进行电压层级响应：将模糊PID与...
    2025-04-12
  • 一种控制MEMS空腔结构硅厚的方法
    一种控制MEMS空腔结构硅厚的方法_安徽华鑫微纳集成电路有限公司_202411833036.8
    本发明公开了一种控制MEMS空腔结构硅厚的方法，包括以下步骤：S1，在硅衬底上沉积介质层，使用光刻和刻蚀形成图形化的掩模；S2，基于掩模开口位置，通过湿法腐蚀的方式，根据所要腐蚀硅衬底的厚度即目标硅厚，计算出预计腐蚀时间；S3，加以过量的腐...
    2025-04-12
  • 一种颗粒食品卫生旋转包装筒
    一种颗粒食品卫生旋转包装筒_云南创升食品有限公司_202421323561.0
    本实用新型适用于食品包装技术领域，提供了一种颗粒食品卫生旋转包装筒，包括：螺纹安装有筒盖的包装筒本体；开设在所述包装筒本体底部的凹槽；固定安装在所述包装筒本体上的两个条形罩；开设在所述包装筒本体上的两个条形开口；设置在所述包装筒本体上的升降...
    2025-04-12
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