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用于碳化合物膜沉积的方法和设备
一种用于在基板上沉积碳化合物的方法和设备包括:使用具有腔室主体、盖、内部空间、泵设备和气体传输系统的电感耦合等离子体(ICP)腔室和用于支撑设置于ICP腔室的内部空间内的基板的基座,基座具有从氮化铝形成的具有上部表面的上部部分和具有从氮化铝...
一种适用于特种金属铑涂层制备的方法
本发明公开了一种适用于特种金属铑涂层制备的方法,涉及铑涂层制备技术领域,通过将样品表面清洗、贵金属薄膜沉积和样品冷却三个功能分置于三个腔室实现,当第一批样品传送至溅射室或冷却室时,第二批样品即可开展清洗步骤,实现缩短工时效果;同时能够选择合...
一种高结晶度且高C轴择优取向的ScAlN薄膜及其制备方法和应用
本发明涉及一种高结晶度且高C轴择优取向的ScAlN薄膜及其制备方法和应用,所述制备方法包括:将第一和第二靶材分别置于第一和第二磁控溅射靶位,利用惰性气体等离子体在0.5Pa‑1.5Pa的工作真空度下对硬质基片进行预清洗并达到软刻蚀效果;将氮...
一种热电偶及其制备方法
本申请属于功能薄膜材料技术领域,公开了一种热电偶,由衬底及沉积在衬底表面的热电偶单元组成,该热电偶单元包括由镍铬靶材溅射得到的镍铬薄膜和由铜镍靶材溅射得到的铜镍薄膜,其中镍铬薄膜与铜镍薄膜部分重叠以使二者串联,并且通过控制镍铬靶材与铜镍金属...
一种基于离子束技术的钢球表面制备润滑层的装置和方法
本发明公开了一种基于离子束技术的钢球表面制备润滑层的装置和方法,涉及固体润滑涂层制备领域,包括真空室,真空室内设有工件放置组件,工件放置组件包括第一转轴、第一滑轨、第二滑轨、第二转轴、托盘和工件台,第一转轴上设有主动齿轮,第二转轴上设有与主...
一种铸铁炉具的加工方法
本发明涉及冶金工程领域,公开了一种铸铁炉具的加工方法,包括以下步骤:S1.选取铸铁合金材料并通过真空熔炼工艺制备合金;S2.将所述合金材料浇铸成铸铁炉具部件;S3.在所述铸铁炉具表面施加涂层;S4.对涂层进行等离子喷涂和激光表面处理;S5....
一种锌锅轴套轴瓦、制备方法及其应用
本发明涉及表面技术领域,具体涉及一种锌锅轴套轴瓦、制备方法及其应用,所述轴套轴瓦的基材为合金,所述轴套的基材上对磨部位覆盖有陶瓷涂层,所述轴瓦的对磨部位从内到外依次设有合金过渡层、陶瓷涂层、纤维布,所述纤维布固定于所述轴瓦上,所述轴套轴瓦上...
一种自润滑涂层及其应用的进气结构与等离子体处理装置
本发明公开了一种自润滑涂层及其应用的进气结构与等离子体处理装置,自润滑涂层用于等离子体处理装置的进气结构中,所述进气结构具有能够相对运动的主体结构及运动结构,所述自润滑涂层能够涂覆于所述主体结构及所述运动结构的接触面上。所述自润滑涂层的粗糙...
一种便于冷却的真空镀膜机
本实用新型公开了一种便于冷却的真空镀膜机,属于真空镀膜机技术领域,包括真空箱体,所述真空箱体的上方安装有电机组件,真空箱体的内侧设置有工件盘组件,电机组件与工件盘组件之间通过连接组件进行连接,真空箱体的内侧且位于工件盘组件下方的位置安装有两...
一种不锈钢的化学黑化工艺及应用
本申请涉及材料表面处理领域,具体公开了一种不锈钢的化学黑化工艺及应用。不锈钢的化学黑化工艺为:将不锈钢工件除油,再依次进行活化处理和敏化处理;镀液组分包括硫酸镍、次磷酸钠、柠檬酸钠、碳纳米管,将镀液pH值控制在4.8‑5.2,温度为90‑9...
含纳米复合多层涂层的切削刀具及其制备方法
本发明公开了一种含纳米复合多层涂层的切削刀具及其制备方法,该切削刀具包括刀具基体和沉积于刀具基体表面的纳米复合多层涂层,纳米复合多层涂层包含交替沉积的Cr
1‑a‑
b
Al
a
Me...
一种水晶烫钻镀铝膜机
本实用新型涉及烫钻镀铝膜技术领域,尤其涉及一种水晶烫钻镀铝膜机。其技术方案:包括真空镀膜机主体,所述真空镀膜机主体前侧固定有操作台,所述真空镀膜机主体的加工腔固定在操作台上,且两端为开口结构,所述加工腔内设置有中转腔、沉积腔和冷却腔,所述中...
一种可提高溅射效率的表面氧化装置及方法
本发明涉及磁控溅射镀膜技术领域,具体涉及一种可提高溅射效率的表面氧化装置及方法,包括控制箱,还包括旋转镀膜组件,包括转动安装在镀膜箱中心处放置架,放置架上等角度放置有多个基材;溅射机构,包括固定安装在镀膜箱两侧的溅射箱,溅射箱中转动安装有...
一种金属丝镀锌装置
本实用新型公开了一种金属丝镀锌装置,包括镀锌池,还包括定型机构,所述镀锌池内部设置有定型机构,所述定型机构包括导管、转轴、插杆、齿槽、齿套、定型腔和通孔,所述镀锌池内部靠近排出端一侧斜向安装有导管且导管之间水平方向焊接有端部插入至转轴内部的...
一种降低合金化热镀锌板表面短条暗影的方法
本发明公开了一种降低合金化热镀锌板表面短条暗影的方法,属于热镀锌合金化技术领域。本发明首先对缺陷区域进行检测分析,分析结果显示缺陷来源于镀锌工艺;然后通过控制镀锌工艺过程中锌锅Al和Fe的含量、带钢表面清洗质量控制以及合金化工艺控制,进而降...
一种生物医用金刚石复合材料及其制备方法
本发明提供一种生物医用金刚石复合材料及其制备方法,包括:制备异型结构基体;在所述异型结构基体的表面覆载中间辅助层,得到中间体;基于化学气相沉积法在所述中间体的表面沉积金刚石膜层,得到所述生物医用金刚石复合材料;其中,在沉积金刚石膜层时,基于...
一种真空蒸镀机的晶圆运转装置
本实用新型公开了一种真空蒸镀机的晶圆运转装置,属于晶圆片蒸镀技术领域,包括机械臂以及与其连接的托盘夹取装置,托盘夹取装置包括固定架、夹爪组件和吸取组件;夹爪组件通过气缸调动气杆上下移动,同时结合气杆的负压对压板进行吸取,在机械臂的操作下将压...
磁控设备制备垂直磁各向异性隧道结薄膜及其制备方法
本发明公开了磁控设备制备垂直磁各向异性隧道结薄膜及其制备方法,包括氧化硅晶圆,所述氧化硅晶圆的表面沉积有Ta膜,将Ta膜作为金属缓冲层,所述Ta膜的表面沉积有CoFeB膜,将CoFeB膜作为铁磁层,所述CoFeB膜的表面沉积有MgO膜,将M...
带烘干及偏压功能的真空镀膜夹具
本发明涉及技术领域,公开了一种带烘干及偏压功能的真空镀膜夹具,包括安装座和升降座,安装座设有升降驱动机构,升降座的上端面设有第一连接法兰,第一连接法兰连接有转动机构,转动机构的上部连接有基片托架,中部连接有烘干机构和偏压件,下部连接有转动驱...
小口径大长径比管内壁镀膜的磁控溅射装置及其镀膜方法
本发明提出一种小口径大长径比管内壁镀膜的磁控溅射装置及其镀膜方法,本磁控溅射装置包括真空腔体、电磁铁系统、电源系统、抽真空系统和供气系统,真空腔体的底座安装有多个用于支撑样品管的真空转接头,真空腔体的顶盖上安装有多个用于罩设于样品管上方的阴...
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