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五金工具产品及配附件制造技术
  • 本发明公开了一种环保型杂化成膜剂及其制备方法和应用,包括如下步骤:配制L半胱氨酸溶液和环保型金属盐溶液;所述金属盐选自硫酸氧钒、硫酸亚锡、硝酸钕、硝酸钇、硝酸铈中的一种;将所述L半胱氨酸溶液和金属盐溶液混合,得到混合液,调节pH至4‑4.5...
  • 本实用新型涉及一种磁控溅射设备,包括壳体、滑轨、滑块、C型绝缘件及磁控管,壳体开设有镀膜腔体,滑轨设于镀膜腔体内,滑块滑动连接于滑轨的一侧;C型绝缘件位于滑块背离滑轨的一侧且沿滑块的边缘弯折延伸形成第一安装槽,滑块固定于第一安装槽内,磁控管...
  • 本实用新型提供了一种放电腔结构及化学气相沉积设备,属于化学气相沉积设备领域。上述放电腔结构包括:腔体、样品台、及冷却容器,腔体包括底板;样品台设置在腔体中,用于放置待镀膜的基片。冷却容器设置在样品台的下方,并与底板或样品台的底部密封连接;冷...
  • 本实用新型属于真空镀膜设备技术领域,具体是一种真空镀膜设备用观察窗防污染装置,直角弯头的一端与真空镀膜设备的观察法兰密封连接,观察窗与直角弯头的另一端密封连接,镜片及防污板均位于直角弯头内,磁力驱动组件固定在直角弯头上,磁力驱动组件的输出端...
  • 本实用新型提供了一种生长设备及系统,生长设备包括壳体、气浮托盘和隔离结构;壳体内形成有容置腔、生长气体通道和旋转气体通道;容置腔的上端开口;旋转气体通道与容置腔连通,且两者的连通部位低于容置腔的上端端部;旋转气体通道具有与外界连通的旋转气体...
  • 本申请涉及等离子体镀膜技术领域,具体提供了一种等离子体射流喷头及等离子体增强化学气相沉积设备,该喷头包括:喷头本体,其具有等离子激发仓和反应仓;前驱体喷出管,位于反应仓内,其底部的高度小于进气口的高度;第一螺旋气流引导结构,其包括第一圆环安...
  • 本发明公开一种循环式三真空室快速磁控镀膜设备及方法,其设备包括循环设置的前旋转传送台、第一真空室、第二真空室、第三真空室、后旋转传送台和循环传送台,各真空室底部分别设有工件小车的传动组件,各真空室之间分别设有真空门阀;第一真空室与第三真空室...
  • 本实用新型公开一种三真空室磁控镀膜设备,包括依次设置的前旋转传送台、第一真空室、第二真空室、第三真空室和后旋转传送台,各真空室底部设有工件小车的传动组件,第一真空室与前旋转传送台之间、第一真空室与第二真空室之间、第二真空室与第三真空室之间、...
  • 本发明提供一种具有微流道的固态前驱体输送装置及输送方法,在所述托盘中设置可与所述托盘匹配安装、用以承载固态前驱体的所述隔板,且所述隔板内具有隔板微流道,所述隔板的底面具有与所述隔板微流道相连通的隔板进气口,所述隔板的表面具有与所述隔板微流道...
  • 本实用新型公开了一种基片台的提升装置,涉及半导体生产技术领域,包括基座和升降台,所述基座的两侧均至少设有一个导杆和至少一个升降气缸,升降台滑动连接于基座,升降台的两侧均设有直线轴承,直线轴承与导杆滑动配合,升降气缸上的活塞杆末端设有与升降台...
  • 本发明公开了一种基板镀膜设备及其镀膜方法,其中设备包括镀膜室和中转室,镀膜室内设置有用于向基板的表面进行沉积镀膜的沉积装置,中转室内设置有机械手和支撑座,机械手用于将镀膜后的基板放置于支撑座上,中转室还设置有补偿装置,补偿装置包括驱动机构和...
  • 本实用新型公开了一种气相沉积装置,气相沉积装置包括:反应设备,反应设备内形成有反应腔,反应设备上还设置有反应腔的进口;升华设备,升华设备与反应设备构造为一体结构,升华设备上形成有与反应设备相贴合的连接面,升华设备内形成有与反应腔连通的升华腔...
  • 本发明属于半导体产品制造领域技术领域的一种薄膜沉积装置,本发明还涉及一种薄膜沉积方法。每个蒸镀源(20)位置分别设置对应的曲面反射器(30),镀膜腔壁(10)下部还设置平面反射器(40),镀膜腔壁(10)中部设置分束器(50),分束器(50...
  • 本发明提供一种掩膜组件及掩膜板,所述掩膜组件包括本体和垫片,所述本体包括第一通孔、以及围设在所述第一通孔外侧的凹槽,所述垫片可拆卸安装于所述凹槽内,所述垫片具有第二通孔,当所述垫片安装于所述凹槽内,所述第二通孔在所述本体上的投影至少部分位于...
  • 本发明提供能够提高生产率的成膜量测定装置、成膜装置、成膜量测定方法、成膜方法以及电子器件的制造方法。在第一期间,进行使用第一石英振子的成膜量的测定,在从所述第一期间结束起到第二期间开始为止的期间,暂停基于所述第一石英振子的成膜量的测定,在所...
  • 本发明涉及薄膜制备技术领域,公开一种基板装载治具及镀膜装置。其中基板装载治具包括母装载台和子装载台,子装载台包括边框和设置于边框上的放置面,边框置于母装载台上,边框与母装载台可拆卸连接,放置面设置有预设曲度,放置面用于承载与其曲度适配的基板...
  • 本申请涉及双面同时镀膜的卷绕式镀膜机,属于镀膜机技术领域,双面同时镀膜的卷绕式镀膜机包括真空室、放卷辊和收卷辊,所述放卷辊和收卷辊均转动设置在真空室内,所述真空室内转动设置有第一主辊和第二主辊,所述第一主辊和第二主辊相对设置,位于所述放卷辊...
  • 本发明涉及一种金属板部件,其由热成型的扁钢产品制成,该扁钢产品包括钢基材,以及施加在该钢基材上的Al基腐蚀保护层,该钢基材的组成以质量%计为:C:0.1‑0.4%,Mn:0.5‑3.0%,Si:0.05‑0.5%,Cr:0.005‑1.0%...
  • 本发明公开了一种含β‑葡聚糖的羊奶粉及其制备工艺,涉及羊奶粉技术领域。该含β‑葡聚糖的羊奶粉包括如下重量组分:羊乳粉600‑800份,低聚果糖液50‑150份,低聚异麦芽糖150‑180份,浓缩乳清蛋白粉8‑12份,中链甘油三酯18‑22份...
  • 本申请公开一种进气组件、半导体工艺腔室及半导体工艺方法,属于半导体技术领域。进气组件包括相连的进气窗和切换阀板,切换阀板与进气窗相对,进气窗设有第一气体进气口和第二气体进气口,切换阀板可相对于进气窗在第一位置和第二位置之间运动,且切换阀板设...
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