

一种晶圆吸附装置
70
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专利号:2023213284862等年费滞纳金
申请日:
2023-05-29
发布日期:2025-07-16
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本实用新型公开了一种晶圆吸附装置,包括定位框和真空吸盘,所述定位框侧壁的内壁等角度固定有定位杆,且定位杆的外壁套设有滑套,并且滑套的下表面固定设置有真空吸盘,而且定位框下端内壁的中心处活动连接有调节杆,所述调节杆的上端外壁固定安装有齿轮,且齿轮下方的调节杆外壁套设有套环,并且套环的边侧外壁活动连接有支杆。该晶圆吸附装置便于调节,从而方便装置吸附不同尺寸的晶圆,增加了装置的通用性。


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