一种晶圆吸附装置
70
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专利号：2023213284862等年费滞纳金
申请日：
2023-05-29
发布日期：2025-07-16
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专利摘要
本实用新型公开了一种晶圆吸附装置，包括定位框和真空吸盘，所述定位框侧壁的内壁等角度固定有定位杆，且定位杆的外壁套设有滑套，并且滑套的下表面固定设置有真空吸盘，而且定位框下端内壁的中心处活动连接有调节杆，所述调节杆的上端外壁固定安装有齿轮，且齿轮下方的调节杆外壁套设有套环，并且套环的边侧外壁活动连接有支杆。该晶圆吸附装置便于调节，从而方便装置吸附不同尺寸的晶圆，增加了装置的通用性。
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专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 |
专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 |
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企业营业执照 企业组织机构代码证 |
企业营业执照 专利证书原件 |
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账户户：1302 0119 0920 1112 865
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收款方：龙图腾网科技（合肥）股份有限公司
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