一种溶液旋涂装置
70
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专利号：2023215501746专利权维持
申请日：
2023-06-18
发布日期：2025-07-16
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专利摘要
本实用新型公开了一种溶液旋涂装置，包括旋涂仪本体，所述旋涂仪本体顶端安装有旋转轴，所述垂直螺栓上安装有锁定螺母，所述垂直螺栓底端固定有垂直板，所述垂直板中心贯穿安装有调节螺纹杆，所述调节螺纹杆旋转安装在旋转盘底面，所述旋涂仪本体顶部固定有支架，所述支架顶面中心旋转安装有操作杆，所述操作杆上固定有主动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮啮合连接，所述从动齿轮固定在垂直套筒顶部。该溶液旋涂装置，采用新型的结构设计，通过等角度设置的定位机构能够对不同直径的晶圆进行便捷的定位固定，保证晶圆在旋涂过程中的稳定，同时通过可微调的垂直升降机构，对注射机构与晶圆的距离进行精确的调整，保证光刻胶的准确注射。
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专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 |
专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 |
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企业营业执照 企业组织机构代码证 |
企业营业执照 专利证书原件 |
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开户行：中国农业银行合肥天柱路支行
收款方：龙图腾网科技（合肥）股份有限公司
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账户户：1302 0119 0920 1112 865
开户行：中国工商银行合肥高新技术开发区支行
收款方：龙图腾网科技（合肥）股份有限公司
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