一种晶圆清洗抛光装置
70
推荐指数
专利号：2023211098864等年费滞纳金
申请日：
2023-05-10
发布日期：2025-07-16
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专利摘要
本实用新型公开了一种晶圆清洗抛光装置，属于打磨设备技术领域，本实用新型包括旋转驱动设备，所述旋转驱动设备输出端设有旋转头，所述旋转头上方贴合有研磨垫，吊臂，所述吊臂通过轴承转动连接有研磨头，所述研磨头下方贴合吸附有晶圆片，负压压缩机，所述负压压缩机通过气道基座与旋转驱动设备以及吊臂均连通，所述气道基座与吊臂竖直滑动设置。本实用新型中，采用了双向吸附打磨机构，避免了直接将研磨液滴在晶圆片上时，打磨过程中研磨液顺晶圆片侧面滴落对晶圆片另一面造成污染的缺陷。
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双方完成协议约定即交易完成
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| 主体资格 | 买家 | 卖家 | 平台提供 | 过户后您将会获得 |
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专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 |
专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 |
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企业营业执照 企业组织机构代码证 |
企业营业执照 专利证书原件 |
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开户行：中国农业银行合肥天柱路支行
收款方：龙图腾网科技（合肥）股份有限公司
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账户户：1302 0119 0920 1112 865
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