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龙图腾网获悉意法半导体股份有限公司申请的专利具有改善特性的压电致动双轴线谐振微机电反射镜结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111717884B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010201701.7，技术领域涉及：B81B7/02；该发明授权具有改善特性的压电致动双轴线谐振微机电反射镜结构是由N·博尼;R·卡尔米纳蒂;M·默利设计研发完成，并于2020-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有改善特性的压电致动双轴线谐振微机电反射镜结构在说明书摘要公布了：本公开的实施例涉及具有改善特性的压电致动双轴线谐振微机电反射镜结构。一种微机电结构，包括：半导体材料的体部，该体部具有固定框架，该固定框架在内部限定腔；可移动块，该可移动块弹性地悬挂在腔中，并且利用围绕第一旋转轴线的第一谐振运动、以及围绕与第一旋转轴线正交的第二旋转轴线的第二谐振运动而可移动。以悬臂方式在腔中延伸的第一对和第二对支撑元件刚性地耦合到框架，并且可压电变形以引起可移动块围绕第一旋转轴线和第二旋转轴线的旋转。第一对和第二对弹性耦合元件弹性地耦合在可移动块与第一对和第二对支撑元件之间。由于第一对和第二对弹性耦合元件，可移动块的第一和第二旋转运动彼此解耦合并且彼此不干扰。

本发明授权具有改善特性的压电致动双轴线谐振微机电反射镜结构在权利要求书中公布了：1.一种微机电结构，包括： 固定框架，在内部限定腔； 可移动块，被弹性地悬挂在所述腔中，并且利用围绕第一旋转轴线的第一谐振旋转模式、以及利用围绕第二旋转轴线的第二谐振旋转模式而可移动，所述第二旋转轴线正交于所述第一旋转轴线； 第一对支撑元件，以悬臂的方式在所述腔中延伸、并且被刚性地耦合到所述固定框架，并且所述第一对支撑元件通过压电效应而可弹性变形，以引起所述可移动块围绕所述第一旋转轴线的旋转； 第二对支撑元件，以悬臂的方式在所述腔中延伸、并且被刚性地耦合到所述固定框架，并且所述第二对支撑元件通过压电效应而可弹性变形，以引起所述可移动块围绕所述第二旋转轴线的旋转； 第一对弹性耦合元件，被弹性地耦合在所述可移动块与所述第一对支撑元件之间；以及 第二对弹性耦合元件，被弹性地耦合在所述可移动块与所述第二对支撑元件之间； 其中所述第一对弹性耦合元件和所述第二对弹性耦合元件中的所述弹性耦合元件中的每个弹性耦合元件包括第一弹性部分和第二弹性部分； 其中所述第一对弹性耦合元件中的所述弹性耦合元件的第一弹性部分顺从于围绕所述第二旋转轴线的扭转，并且所述第二对弹性耦合元件中的所述弹性耦合元件的第一弹性部分顺从于围绕所述第一旋转轴线的扭转；并且 其中所述第一对弹性耦合元件和所述第二对弹性耦合元件的所述弹性耦合元件的第二弹性部分顺从于到所述微机电结构的主延伸部的水平平面的外部的弯曲， 其中由于所述第一对弹性耦合元件和所述第二对弹性耦合元件，所述可移动块的所述第一谐振旋转模式和所述第二谐振旋转模式彼此解耦合、并且彼此不干扰。

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