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龙图腾网恭喜HOYA株式会社申请的专利光掩模及显示装置的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113009777B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110239537.3，技术领域涉及：G03F1/62；该发明授权光掩模及显示装置的制造方法是由山口昇设计研发完成，并于2017-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本光掩模及显示装置的制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供光掩模及显示装置的制造方法。在制造具有包括遮光部、半透光部及透光部的转印用图案的光掩模时，准备在透明基板1上层叠了半透光膜2、中间膜3及遮光膜4而成的光掩模坯体，通过蚀刻将成为遮光部的区域以外的区域的遮光膜4去除，然后形成抗蚀剂膜6。接着，对抗蚀剂膜6进行描画及显影而形成了抗蚀剂图案6a，然后通过蚀刻将半透光膜2去除。半透光膜2和遮光膜4都由Cr类材料形成，在将与透光部及半透光部分别相邻的遮光部设为中间遮光部时，在抗蚀剂图案形成工序中形成具有开口的抗蚀剂图案6a，该开口的尺寸相对于与中间遮光部相邻的透光部的设计尺寸Aμm，在与中间遮光部相邻的边缘侧每一侧增加了裕量αμm。

本发明授权光掩模及显示装置的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种光掩模，该光掩模具有转印用图案，该转印用图案是通过对形成于透明基板上的遮光膜及半透光膜分别进行图案形成而形成的，具有遮光部、半透光部及透光部，其特征在于，所述转印用图案包括与所述透光部及所述半透光部分别相邻的所述遮光部，在所述遮光部中，在所述透明基板上形成有半透光膜、中间膜及遮光膜，在所述半透光部中，在所述透明基板上形成有所述半透光膜、或者所述半透光膜和中间膜，当将所述透明基板的、至少形成有所述半透光膜的面设为主表面时，在所述透光部，所述主表面露出，所述遮光膜和所述半透光膜由能够利用相同的蚀刻剂进行蚀刻的材料形成，所述半透光部对曝光光束代表波长的透射率为5％～60％，在将与所述透光部及所述半透光部分别相邻的所述遮光部设为中间遮光部时，在所述中间遮光部中形成有凹部，该凹部中的所述遮光膜的膜厚在与所述透光部相邻的边缘侧小于与所述半透光部相邻的边缘侧，所述凹部的深度为所述凹部以外的遮光膜的厚度为所述透明基板的厚度在所述透光部、所述半透光部以及所述遮光部处均相同。

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