四川科尔威光电科技有限公司孙世刚获国家专利权
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龙图腾网获悉四川科尔威光电科技有限公司申请的专利一种氮化铝基板微孔加工及熔渣清洗方法及工装获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120089603B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510588147.5，技术领域涉及：H01L21/48；该发明授权一种氮化铝基板微孔加工及熔渣清洗方法及工装是由孙世刚;贾翔;杜晶;翟军云设计研发完成，并于2025-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氮化铝基板微孔加工及熔渣清洗方法及工装在说明书摘要公布了：本发明公开了一种氮化铝基板微孔加工及熔渣清洗方法及工装，涉及半导体基板加工技术领域，第一方面，一种氮化铝基板微孔加工及熔渣清洗方法。第二方面，一种氮化铝基板微孔熔渣清洗工装，包括清洗槽，清洗槽内设有两个用于对称设置在基板前后两侧的夹持碗，夹持碗用于夹持基板并与基板形成与清洗槽相连通的容腔，每个夹持碗连接有用于推动夹持碗来使两个夹持碗夹持基板的推动装置；每个夹持碗内设有一个弹性碗，夹持碗上贯穿设有与弹性碗连接的推拉杆，推拉杆贯穿清洗槽设置与清洗槽外的驱动装置相连接。本发明能够对氮化铝基板上的微孔进行有效清洗，提高后续金属化成孔的良品率。
本发明授权一种氮化铝基板微孔加工及熔渣清洗方法及工装在权利要求书中公布了：1.一种氮化铝基板微孔加工及熔渣清洗方法，其特征在于：包括以下步骤： 步骤S1、选取厚度大于0.2mm的氮化铝基板（1）； 步骤S2、采用激光在基板（1）上加工出直径为0.1mm的微孔（2）； 步骤S3、将基板（1）置于熔渣清洗工装内，使用1:1的氢氧化钾-双氧水混合溶液或2:1的硫酸-双氧水混合溶液进行浸泡，并同步施加超声波清洗； 步骤S4、对基板（1）进行精抛光至基板（1）厚度为0.2mm并恢复表面粗糙度； 步骤S5、采用有机溶剂进行最终清洗， 还包括以下步骤： 步骤S3a、在步骤S3的熔渣清洗工装中通过先后循环挤压微孔（2）两侧的弹性碗（5）使溶液在微孔（2）内往复流动以加速熔渣清除。
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