应用材料公司欧岳生获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于处理基板的方法和设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114641857B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080077347.X，技术领域涉及：H01L23/00；该发明授权用于处理基板的方法和设备是由欧岳生;和田优一;魏俊琪;张康;K·莫设计研发完成，并于2020-10-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理基板的方法和设备在说明书摘要公布了：本文提供用于处理基板的方法和设备。例如，用于处理基板的方法可包括：使用工艺气体离子和从PVD腔室的靶材形成的金属离子两者，从设置在PVD腔室中的基板选择性地蚀刻暴露的第一材料层，所述暴露的第一材料层覆盖下方的第二材料层且与暴露的第三材料层相邻，工艺气体离子和金属离子的量足以在将金属层沉积至第三材料层上的同时使第二材料层暴露；以及随后将来自靶材的金属沉积至第二材料层上。
本发明授权用于处理基板的方法和设备在权利要求书中公布了：1.一种用于处理物理气相沉积PVD腔室中的基板的方法，包含以下步骤： 使用工艺气体离子和从所述PVD腔室的靶材形成的金属离子两者，从设置在所述PVD腔室中的基板选择性地蚀刻暴露的第一材料层，所述暴露的第一材料层覆盖下方的第二材料层且与第三材料层相邻，所述第三材料层具有在整个所述第一材料层上方暴露的顶表面，所述工艺气体离子和所述金属离子的量足以在沉积金属层以钝化所述第三材料层的同时使所述第二材料层暴露，从而在除气工艺期间保护所述第三材料层免受分解；以及 随后将来自所述靶材的金属沉积至所述第二材料层上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号