罗建华获国家专利权
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龙图腾网获悉罗建华申请的专利一种半导体检测装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112198168B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011181995.8,技术领域涉及:G01N21/95;该发明授权一种半导体检测装置及方法是由罗建华设计研发完成,并于2020-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体检测装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开本发明提供一种半导体检测装置及方法,其中一种半导体检测装置,包括:图像采集组件;位移件:所述位移件设于所述图像采集组件的一侧;可见光组件;近红外光组件;所述可见光组件以及所述近红外光组件并排滑动设于所述位移件上。通过在所述图像采集组件的一侧设置所述位移件以及将所述可见光组件以及所述近红外光组件并排滑动设于所述位移件上,通过所述位移件上位移,以便对所述可见光以及近红外光的选择进行切换,实现对所述待检测物的外观检测以及内部检测。
本发明授权一种半导体检测装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体检测装置,其特征在于,包括: 图像采集组件; 位移件:所述位移件设于所述图像采集组件的一侧; 可见光组件; 近红外光组件; 所述可见光组件以及所述近红外光组件并排滑动设于所述位移件上; 所述可见光组件包括可见光光源以及第一分光镜;所述近红外光组件包括近红外光光源以及第二分光镜,所述位移件为滑动件; 所述第一分光镜与所述第二分光镜相邻间隔设置,所述可见光光源、第一分光镜、第二分光镜以及近可见光光源依次并排滑动设于所述滑动件上; 所述图像采集组件包括相机以及镜头,所述镜头安装于所述相机上,所述镜头的镜片上镀有针对近红外波段和可见光波段的高透膜; 所述第一分光镜和第二分光镜分别为立方体型分束镜,所述第一分光镜的一侧面与所述第二分光镜的一侧面相对面向设置,所述滑动件的滑动方向与所述镜头的轴向垂直; 所述第一分光镜的高度大于所述第二分光镜的高度,所述第一分光镜与所述第二分光镜的高度差等于所述可见光折射率与所述近红外光折射率的差值与所述镜头的镜片折射率减去1的值的比值与镜头焦距的乘积再乘于0.3; 所述立方体型分束镜由两块45°直角三棱镜拼合而成; 设置所述第一分光镜和第二分光镜的相关位置关系,使得可见光源近红外光源的光在通过第一分光镜第二分光镜分束后在待检测物上反射后又通过第一分光镜第二分光镜分束后进入所述镜头。
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