弘塑科技股份有限公司吴进原获国家专利权
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龙图腾网获悉弘塑科技股份有限公司申请的专利湿式晶圆处理装置及晶圆卡匣获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115863229B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111120336.8，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权湿式晶圆处理装置及晶圆卡匣是由吴进原;罗健辉设计研发完成，并于2021-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本湿式晶圆处理装置及晶圆卡匣在说明书摘要公布了：本发明提供一种湿式晶圆处理装置，置放至少一晶圆，该湿式晶圆处理装置包含一固定座以及一晶圆卡匣。固定座包含相互间隔的一对卡榫构件。晶圆卡匣包含对应该对卡榫构件组装的一对旋转压杆，每一旋转压杆末端包含一楔形件，楔形件受各卡榫构件的一导引面导引，使各旋转压杆转动来限制所述晶圆相对晶圆卡匣之位移。再者，本发明还提供一种晶圆卡匣。
本发明授权湿式晶圆处理装置及晶圆卡匣在权利要求书中公布了：1.一种湿式晶圆处理装置，置放至少一晶圆，其特征在于，该湿式晶圆处理装置包括： 一固定座，包含相互间隔的一对卡榫构件；以及 一晶圆卡匣，包含对应该对卡榫构件组装的一对旋转压杆，每一该旋转压杆末端包含一楔形件，该楔形件受各该卡榫构件的一导引面导引，使各该旋转压杆转动来限制所述晶圆相对该晶圆卡匣位移，每一该旋转压杆还包含一杆体及一压制部，该压制部设置在该杆体的一侧，该压制部的旋转半径大于该杆体的旋转半径，使该压制部在该杆体转动时可压制晶圆。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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