ASML荷兰有限公司G·丁格曼斯获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利辐射系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113661788B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080026115.1，技术领域涉及：H05G2/00；该发明授权辐射系统是由G·丁格曼斯;科尔马·欧戈尔曼;R·哈佛科特设计研发完成，并于2020-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本辐射系统在说明书摘要公布了：一种辐射系统，被配置为产生辐射并且包括液滴发生器3、激光系统和控制系统，液滴发生器3被配置为产生朝向等离子体形成区域行进的燃料液滴，激光系统操作以生成预脉冲PP和主脉冲MP，其中预脉冲被配置为调节液滴以接收主脉冲，并且其中主脉冲被配置为将经调节液滴转换为产生辐射的等离子体，控制系统被配置为控制在横向于预脉冲的传播方向的平面中预脉冲与液滴之间的空间偏移，其中控制系统被配置为调节空间偏移以最大化在横向于主脉冲的传播方向的平面中经调节液滴的速度变化。
本发明授权辐射系统在权利要求书中公布了：1.一种辐射系统，被配置为产生辐射，并且包括： 液滴发生器，被配置为产生以初始速度朝向等离子体形成区域行进的燃料液滴； 激光系统，操作以生成预脉冲和主脉冲，其中所述预脉冲被配置为调节所述液滴以接收所述主脉冲，并且其中所述主脉冲被配置为将经调节液滴转换为产生所述辐射的等离子体；以及 控制系统，被配置为控制在横向于所述预脉冲的传播方向的平面中所述预脉冲与所述液滴之间的空间偏移； 其中所述控制系统被配置为调节所述空间偏移以最大化在横向于所述主脉冲的传播方向的平面中所述经调节液滴相对于初始速度的速度变化，其中所述经调节液滴的速度变化是所述预脉冲的动量传递到未经调节的液滴而产生的。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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