恭喜朗姆研究公司马克·塔斯卡尔获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利气体分配器和流量校验器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112437976B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980048175.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权气体分配器和流量校验器是由马克·塔斯卡尔;伊克巴尔·A·谢里夫设计研发完成，并于2019-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体分配器和流量校验器在说明书摘要公布了：提供了分配及混合气体的设备及方法。在一示例中，一种气体分配器包含：主体，用于使得气体能进入所述主体的气体入口，用于将所述气体分配至外部部件的轨道阵列的气体出口，以及中央气体分配点，该中央气体分配点设置在所述主体内在所述轨道阵列的气体出口的中心，并且与所述轨道阵列的气体出口流体连通。
本发明授权气体分配器和流量校验器在权利要求书中公布了：1.一种气体分配器，其包括：主体；轨道阵列的气体出口，其用于将所述气体分配至外部部件；气体入口，其用于使得气体能进入所述主体，所述气体入口位于所述轨道阵列的气体出口的中心；中央气体分配点，其与所述气体入口分开，所述中央气体分配点包括内部容积，所述内部容积设置在所述主体内并被所述轨道阵列的气体出口围绕，所述内部容积通过相应的气体路径的阵列与所述轨道阵列的气体出口流体连通，所述气体路径从所述内部容积延伸至所述气体出口中的每一个，并且其中所述气体路径的长度是一样的；以及控制阀，其与所述内部容积流体连通，所述控制阀配置成单独控制每个气体路径内的气体流率。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号