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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利具有附加旋转轴的旋转分度器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111566796B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980007800.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权具有附加旋转轴的旋转分度器是由理查德·M·布兰克;卡尔·F·利泽设计研发完成，并于2019-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有附加旋转轴的旋转分度器在说明书摘要公布了：提供旋转分度器，所述旋转分度器可以旋转以在以圆形阵列布置的各种站之间移动半导体晶片或其他物品；在这种移动过程中，被移动的物品可以由所述分度器的臂支撑。所述旋转分度器可被进一步配置为还使被移动的所述物品围绕其他旋转轴旋转，以引起所述物品相对于支撑它们的所述臂的旋转。

本发明授权具有附加旋转轴的旋转分度器在权利要求书中公布了：1.一种用于在多站半导体处理室中在站之间转移晶片的装置，所述装置包括：旋转分度器，其用于在将所述晶片放置在所述旋转分度器上并致动所述旋转分度器时，使多个晶片沿着圆形路径在等距间隔的位置之间同时移动，所述旋转分度器包含：基座；第一马达；第二马达；第一毂；N个分度器臂组件，每个分度器臂组件包含：a晶片支撑件，以及b分度器臂，所述分度器臂具有与所述第一毂固定连接的近端部和与所述晶片支撑件可旋转地连接的远端部；以及致动机构，其中：所述第一马达被配置为使所述第一毂围绕所述第一毂的中心轴并且相对于所述基座旋转，所述第二马达被配置为向所述致动机构提供旋转输入，N是大于或等于2的整数，每个晶片支撑件被配置为相对于相应的分度器臂组件的所述分度器臂并围绕所述晶片支撑件的旋转轴旋转，每个晶片支撑件的所述旋转轴被定位成当所述晶片支撑件支撑所述晶片时穿过所述晶片中的相应一个晶片的中心，以及所述致动机构被配置为响应于以下项而使所述分度器臂的所述晶片支撑件相对于所述分度器臂在相同的旋转方向上，以及围绕所述晶片支撑件的相应旋转轴同时旋转相同的量：所述第一马达的旋转，而所述第二马达不旋转；所述第二马达的旋转，而所述第一马达不旋转；或者所述第一马达和所述第二马达的旋转，使得所述致动机构被致动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。