恭喜朗姆研究公司何治安获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利针对镀覆操作改善衬底的可湿性获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112236847B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980037211.3，技术领域涉及：H01L21/306；该发明授权针对镀覆操作改善衬底的可湿性是由何治安;尚蒂纳特·古艾迪;许亨俊;黄璐丹;冯敬斌;道格拉斯·希尔;托马斯·伯克;马尼什·兰詹;安德鲁·詹姆斯·普福设计研发完成，并于2019-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本针对镀覆操作改善衬底的可湿性在说明书摘要公布了：多种实施方案包含于电化学沉积工艺前湿化衬底的方法及设备。在一实施方案中，控制衬底可湿性的方法包含：将衬底置于预处理室中、控制预处理室的环境以湿化衬底表面；以及将衬底置于镀槽中。还公开了其他方法及系统。
本发明授权针对镀覆操作改善衬底的可湿性在权利要求书中公布了：1.一种减少氧化并增加衬底可湿性的方法，所述方法包括：将所述衬底置于无氧且去离子湿化的衬底环境中持续预定时间量，所述衬底环境包含氮；对所述衬底执行湿化操作，所述湿化操作包括：将所述衬底置于预处理室中，其包含使所述衬底经历真空下的基于氢等离子体的工艺；在所述基于氢等离子体的工艺之后，将所述衬底置于真空至大气转换模块中；以及供应水蒸气至所述真空至大气转换模块，以增加所述衬底的表面上的水蒸气吸附；对所述衬底进行镀覆操作；以及在对所述衬底进行所述镀覆操作之后，在退火室中对所述衬底进行后退火。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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