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申请/专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日：2021-05-25
公开（公告）日：2021-08-20
公开（公告）号：CN113281898A
专利技术分类：.控制光的方向（光导中的入G02B6/35）[2006.01]
专利摘要：本发明提供一种MEMS微镜单元，所述MEMS微镜单元包括：镜面层，包括镜面以及设置于所述镜面背部的多个柔性力学结构；致动器层，包括交叉排列的三个致动器，每一致动器与所述镜面层的每一柔性力学结构成对设置并且通过耦合柱与相应的柔性力学结构耦合，所述致动器用于通过所述耦合柱与所述柔性力学结构以为所述镜面层提供动力；以及引线层。本发明还提供了一种MEMS微镜阵列，所述MEMS微镜阵列包含以密堆方式排列的多个所述的MEMS微镜单元。本发明提供的MEMS微镜单元可以实现三个自由度的精确可调，控制方式灵活；包含所述MEMS微镜单元的微镜阵列，具有高占空比，以及高一致性的镜面性能。
专利权项：1.一种MEMS微镜单元，其特征在于：所述微镜单元包括：镜面层，包括镜面以及设置于所述镜面背部的多个柔性力学结构；致动器层，包括交叉排列的三个致动器，每一致动器与所述镜面层的每一柔性力学结构成对设置并且通过耦合柱与相应的柔性力学结构耦合，所述致动器用于通过所述耦合柱与所述柔性力学结构以为所述镜面层提供动力；以及引线层，所述引线层分别与所述致动器层中的每一致动器固定耦合，以对所述致动器层起到力学支撑和电学连接的作用。
百度查询： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 MEMS微镜单元及MEMS微镜阵列
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