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龙图腾网获悉天津吉兆源科技有限公司申请的专利阻抗匹配器及匹配方法、射频电源系统和等离子体源系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120110347B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510594442.1，技术领域涉及：H03H7/38；该发明授权阻抗匹配器及匹配方法、射频电源系统和等离子体源系统是由王能;王传玉;杨怀成;刘泉志;王一梅设计研发完成，并于2025-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本阻抗匹配器及匹配方法、射频电源系统和等离子体源系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种阻抗匹配器及匹配方法、射频电源系统和等离子体源系统。该阻抗匹配器包括：阻抗匹配模块、控制模块、可调电容模块和开关模块；可调电容模块包括多个串联连接的可调电容单元；可调电容单元与其对应的开关单元并联连接；控制模块用于在负载处于当前阻抗时，控制至少一个开关单元断开同时控制至少一个开关单元导通，并根据负载的下一阻抗调节至少一个导通的开关单元对应的可调电容单元的电容值，以使电容值被调节后的可调电容单元形成的总电容值与负载的下一阻抗相匹配。本发明可以在负载的阻抗发生变化的同时实现射频电源模块与负载之间的阻抗匹配，可快速实现阻抗匹配。

本发明授权阻抗匹配器及匹配方法、射频电源系统和等离子体源系统在权利要求书中公布了：1.一种阻抗匹配器，其特征在于，包括：阻抗匹配模块、控制模块、可调电容模块和开关模块； 所述阻抗匹配模块的第一端与射频电源模块的输出端电连接，所述阻抗匹配模块的第二端与负载的输入端电连接； 所述可调电容模块的第一端与所述阻抗匹配模块的第一端电连接，所述可调电容模块的第二端接地； 所述可调电容模块包括多个串联连接的可调电容单元； 所述开关模块包括与所述可调电容单元数量相等的开关单元； 所述可调电容单元与所述开关单元一一对应，且所述可调电容单元与其对应的所述开关单元并联连接； 所述控制模块用于在所述负载处于当前阻抗时，控制至少一个所述开关单元断开同时控制至少一个所述开关单元导通，并根据所述负载的下一阻抗调节至少一个导通的开关单元对应的可调电容单元的电容值，以使电容值被调节后的所述可调电容单元形成的总电容值与所述下一阻抗相匹配，还用于在所述负载的阻抗由所述当前阻抗变化到所述下一阻抗时，控制所述下一阻抗对应的开关单元断开，并控制所有开关单元中除所述下一阻抗对应的开关单元之外的开关单元导通，其中，所述下一阻抗对应的开关单元为所述负载处于所述当前阻抗时所述控制模块调节导通的所述开关单元对应的所述可调电容单元所对应的开关单元。

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