拓荆科技股份有限公司王燚获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利晶圆承载组件、晶圆传递装置及晶圆传递之方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113838787B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010587218.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆承载组件、晶圆传递装置及晶圆传递之方法是由王燚设计研发完成，并于2020-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆承载组件、晶圆传递装置及晶圆传递之方法在说明书摘要公布了：本发明揭露一种用于反应腔中的晶圆承载组件，其包含：一加热板，固接有用于站立在反应腔底部的复数个支撑脚；一顶针托盘，垂直升降于该加热板下方，且固接有垂直升降于该加热板上方的复数个顶针，该顶针托盘配置成和一机械手臂的一手指互动而升降于该加热盘的下方。
本发明授权晶圆承载组件、晶圆传递装置及晶圆传递之方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传递方法，其特征在于，包含： 在一反应腔内提供一晶圆承载组件，其中，该晶圆承载组件具有：一加热板，固接有站立在该反应腔底部的复数个支撑脚；及一顶针托盘，垂直升降于该加热板下方，且固接有垂直升降于该加热板上方的复数个顶针； 提供一第一手指和一第二手指，其中，该第一手指的操作水平高于该第二手指的操作水平； 利用该第一手指承载一晶圆，并移动至该晶圆承载组件上方； 将该第二手指移动至该反应腔的该晶圆承载组件的顶针托盘下方； 将该第二手指升起并抬升该顶针托盘，以使该复数个顶针升高至该加热板的上方，并撑起该第一手指上的该晶圆； 将该第一手指从该反应腔收回； 将该第二手指下降，以使该顶针托盘和该复数个顶针同步落下，并使该晶圆坐落于该加热板上；以及 将该第二手指从该反应腔收回。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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