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龙图腾网恭喜株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置及衬底处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112740361B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980061522.3，技术领域涉及：H01L21/027；该发明授权衬底处理装置及衬底处理方法是由川口贤士;远藤亨;谷川纮太设计研发完成，并于2019-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本衬底处理装置及衬底处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。本发明的衬底处理装置包含：喷嘴，具有喷出口，且从所述喷出口朝向衬底喷出SPM；混合部，与所述喷出口连通；硫酸含有液供给装置，用来将供给至所述衬底保持单元保持的衬底并从该衬底排出的液体回收，基于所回收的液体制成硫酸含有液，并将制成后的硫酸含有液供给至所述混合部；及控制装置。而且，所述控制装置执行：硫酸含有液制成步骤，将供给至所述衬底并从该衬底排出的SPM回收而制成硫酸含有液；及SPM喷出步骤，通过将制成后的硫酸含有液及过氧化氢水供给至所述混合部并在所述混合部混合硫酸含有液及过氧化氢水而生成SPM，并从所述喷出口喷出所生成的SPM。

本发明授权衬底处理装置及衬底处理方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，利用作为硫酸及过氧化氢水的混合液的SPM从衬底去除抗蚀剂，且包含： 衬底保持单元，保持衬底； 喷嘴，具有喷出口，且从所述喷出口朝向所述衬底保持单元保持的衬底喷出SPM； 混合部，与所述喷出口连通； 硫酸含有液供给装置，用来将供给至所述衬底保持单元保持的衬底并从该衬底排出的液体回收，基于所回收的液体制成硫酸含有液，并将制成后的硫酸含有液供给至所述混合部； 过氧化氢水供给单元，用来将过氧化氢水供给至所述混合部；及 控制装置，控制所述硫酸含有液供给装置及所述过氧化氢水供给单元； 所述硫酸含有液供给装置包含第1储液部与第2储液部， 所述第1储液部包含： 第1槽，贮存所回收的液体；及 硫酸补充单元，用来对所述第1槽补充硫酸； 所述第2储液部包含： 第2槽，贮存从所述第1槽输送来的液体； 第1配管，两端连接于所述第2槽，供贮存在所述第2槽的液体循环；及 第1加热器，用来将沿所述第2槽及所述第1配管循环的液体加热； 所述第1储液部还包含： 第2配管，两端连接于所述第1槽，供贮存在所述第1槽的硫酸含有液循环；及 第2加热器，将沿所述第1槽及所述第2配管循环的硫酸含有液加热； 所述控制装置执行： 硫酸含有液制成步骤，将供给至所述衬底并从该衬底排出的SPM回收而制成硫酸含有液；及 SPM喷出步骤，通过将制成后的硫酸含有液及过氧化氢水供给至所述混合部并在所述混合部混合硫酸含有液及过氧化氢水而生成SPM，并从所述喷出口喷出所生成的SPM， 所述控制装置在所述硫酸含有液制成步骤中执行： 第1贮存步骤，将从所述衬底排出的SPM回收，并作为硫酸含有液贮存在所述第1槽； 硫酸补充步骤，通过所述硫酸补充单元对所述第1槽补充硫酸； 第2贮存步骤，将从所述第1槽输送来的硫酸含有液贮存在所述第2槽； 第1加热步骤，通过所述第1加热器加热沿所述第2槽及所述第1配管循环的硫酸含有液；及 第2加热步骤，通过所述第2加热器加热沿所述第1槽及所述第2配管循环的硫酸含有液；且 所述控制装置在所述SPM喷出步骤中执行将沿所述第2槽及所述第1配管循环的硫酸含有液供给至所述混合部的步骤。

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