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恭喜雅马哈智能机器控股株式会社宗像広志获国家专利权

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龙图腾网恭喜雅马哈智能机器控股株式会社申请的专利不良检测装置以及不良检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115769071B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180044011.8,技术领域涉及:G01N29/04;该发明授权不良检测装置以及不良检测方法是由宗像広志;麦可·柯比;足立卓也设计研发完成,并于2021-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。

不良检测装置以及不良检测方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种不良检测装置以及不良检测方法,能够利用简便的结构在短时间进行半导体裸片的接合面的不良检测。不良检测装置,检测半导体装置的不良,且包括:超声波喇叭,对半导体装置进行超声波激振;激光光源,向半导体装置照射平行激光光;照相机,具有摄像元件,所述摄像元件拍摄经平行激光光照射的半导体装置而获取图像;以及检测部,基于照相机所拍摄的图像来进行半导体装置的不良检测,检测部基于照相机所获取的半导体装置的静止时的图像与超声波振动时的图像的偏差,来进行半导体装置的不良检测。

本发明授权不良检测装置以及不良检测方法在权利要求书中公布了:1.一种不良检测装置,检测检查对象物的不良,其特征在于包括: 超声波激振器,对所述检查对象物进行超声波激振; 同调光源,向所述检查对象物照射同调光; 照相机,具有摄像元件,所述摄像元件拍摄经所述同调光照射的所述检查对象物而获取图像;以及 检测部,基于所述照相机所拍摄的图像来进行所述检查对象物的不良检测, 所述照相机进行拍摄时的曝光时间比所述检查对象物的超声波振动的周期更长,获得包含干涉图案的图像,所述干涉图案是由于经所述检查对象物的表面反射的所述同调光干涉而产生, 所述检测部基于包含所述检查对象物的静止时的干涉图案的图像与包含所述检查对象物的超声波振动时的干涉图案的图像之间的偏差来确定振动产生像素,将所确定的振动产生像素密集至既定值以上的区域设定为不良区域,检测不良,其中所述包含所述检查对象物的静止时的干涉图案的图像与所述包含所述检查对象物的超声波振动时的干涉图案的图像是由所述照相机所获取。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人雅马哈智能机器控股株式会社,其通讯地址为:日本东京武藏村山市伊奈平二丁目51番地之1;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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