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恭喜嘉兴谱鉴精密仪器有限公司谷朝臣获国家专利权

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龙图腾网恭喜嘉兴谱鉴精密仪器有限公司申请的专利大孔径且低畸变的F-theta紫外场镜装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112817128B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110137217.7,技术领域涉及:G02B13/00;该发明授权大孔径且低畸变的F-theta紫外场镜装置是由谷朝臣;韩进厚;程昊;谷朝榜;秦文材设计研发完成,并于2021-02-01向国家知识产权局提交的专利申请。

大孔径且低畸变的F-theta紫外场镜装置在说明书摘要公布了:本发明提供了一种大孔径且低畸变的F‑theta紫外场镜装置,包括:第一透镜,第二透镜,第三透镜,第四透镜,第五透镜;所述第一透镜,第二透镜,第三透镜,第四透镜,第五透镜从激光入射方向到聚焦平面依次排布;所述第一透镜采用凹向激光入射方向的平凹透镜或凸凹透镜;所述第二透镜采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜;所述第三透镜、第四透镜采用双凸透镜;所述第五透镜采用双凹透镜或者平凹透镜。本发明提供的大孔径、低畸变F‑theta紫外场镜,在有效保证入射光束直径的前提下,实现了大视场、低畸变、高质量扫描。

本发明授权大孔径且低畸变的F-theta紫外场镜装置在权利要求书中公布了:1.一种大孔径且低畸变的F-theta紫外场镜装置,其特征在于,包括:第一透镜,第二透镜,第三透镜,第四透镜,第五透镜; 透镜的数量为5个; 所述第一透镜,第二透镜,第三透镜,第四透镜,第五透镜从激光入射方向到聚焦平面依次排布; 所述第一透镜采用凹向激光入射方向的平凹透镜或凸凹透镜; 所述第二透镜采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜; 所述第三透镜、第四透镜采用双凸透镜; 所述第五透镜采用双凹透镜或者平凹透镜; 所述第一透镜的焦距f1与场镜焦距f的比值f1f取值范围如下: -0.55≤f1f≤-0.35; 所述第二透镜的焦距f2与场镜焦距f的比值f2f取值范围如下: 1.0≤f2f≤1.3; 所述第三透镜的焦距f3与场镜焦距f的比值f3f取值范围如下: 0.5≤f3f≤0.85; 所述第四透镜的焦距f4与场镜焦距f的比值f4f、材料折射率Nd4、阿贝尔系数Vd4取值范围如下: 0.65≤f4f≤0.9,1.45≤Nd4≤1.53,54≤Vd4≤70; 所述第五透镜的焦距f5与场镜焦距f的比值f5f、材料折射率Nd5、阿贝尔系数Vd5取值范围如下: -1.1≤f5f≤-0.8,1.45≤Nd5≤1.53,54≤Vd5≤70。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人嘉兴谱鉴精密仪器有限公司,其通讯地址为:314299 浙江省嘉兴市平湖市经济技术开发区新兴二路988号7号楼103室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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