恭喜昕芙旎雅有限公司谷山育志获国家专利权
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龙图腾网恭喜昕芙旎雅有限公司申请的专利晶片储存器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113169103B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201980078149.2,技术领域涉及:H01L21/673;该发明授权晶片储存器是由谷山育志;河合俊宏设计研发完成,并于2019-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶片储存器在说明书摘要公布了:提供了一种可以进一步改善晶片周围的气氛的晶片储存器。晶片储存器X包括:壳体1,设置在壳体1的前表面上的装载装置2,设置在壳体1中的晶片盒架子3,用于将晶片从安装在装载装置2上的搬运容器中搬入晶片盒架子3上的晶片盒C中和从该晶片盒C中搬出的晶片搬运机器人4,用于使晶片盒架子3上的晶片盒C移动到不同高度的晶片盒搬运装置5,以及用于在晶片搬运空间和晶片盒搬运空间中产生层流的风扇过滤器单元8。
本发明授权晶片储存器在权利要求书中公布了:1.一种晶片储存器,其包括:壳体;装载装置,其安装在所述壳体的前表面上,并被构造为安装能够容纳多个晶片的搬运容器;晶片盒架子,其布置在所述壳体中,并被构造为以多层的方式储存多个晶片盒,所述多个晶片盒被构造为以多层的方式储存多个晶片;晶片搬运机器人,其被构造为在安装在所述装载装置上的所述搬运容器与储存在所述晶片盒架子中的所述晶片盒之间装载和卸载所述晶片;晶片盒运送装置,其被构造为将储存在所述晶片盒架子的多层中的预定层中的晶片盒移动到至少与所述预定层高度不同的层;风扇过滤器单元,其被构造为在所述壳体的布置有所述晶片搬运机器人的晶片搬运空间中以及所述壳体的布置有所述晶片盒运送装置的晶片盒搬运空间中产生层流;返回空间,其安装在所述壳体的后壁和所述晶片盒运送装置之间的壳体内;以及鼓风机,其安装在所述返回空间中并且被配置为产生上升气流,所述上升气流在所述返回空间中朝向所述风扇过滤器单元流动,其中,所述风扇过滤器单元安装在所述壳体中,其中,在所述壳体中形成有用于使气体循环的循环路径,所述循环路径包括所述晶片搬运空间、所述晶片盒搬运空间以及所述返回空间,并且其中,当安装在所述装载装置上的搬运容器与所述装载装置的直立基座紧密接触时,所述搬运容器的门打开,所述晶片搬运机器人仅从所述搬运容器中卸载晶片并将晶片装载到晶片盒中。
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